| 发明名称 |
VERTICAL TYPE HEAT TREATMENT FURNACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01305290(A) |
申请公布日期 |
1989.12.08 |
| 申请号 |
JP19880136592 |
申请日期 |
1988.06.02 |
| 申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO LTD |
发明人 |
MORISHIMA KAZUHIRO;SAKAI YUICHI |
| 分类号 |
F27B9/30;F27B1/10;H01L21/22;H01L21/31 |
主分类号 |
F27B9/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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