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发明名称
QUARTZ CLEANING TANK
摘要
申请公布号
JPH01315139(A)
申请公布日期
1989.12.20
申请号
JP19880145594
申请日期
1988.06.15
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
MATSUMOTO MUNEYUKI;MURATA TOJI;FUJIMOTO KAZUYUKI
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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