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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02125447(A) 申请公布日期 1990.05.14
申请号 JP19890153516 申请日期 1989.06.15
申请人 HITACHI LTD;HITACHI HARAMACHI SEMICONDUCTOR LTD 发明人 KAWAMATA SHIGERU;NUMATA ATSUSHI;OGAMI MICHIO;MISAWA YUTAKA;MONMA NAOHIRO
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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