发明名称 |
MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02181914(A) |
申请公布日期 |
1990.07.16 |
申请号 |
JP19890002251 |
申请日期 |
1989.01.09 |
申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
MORI HIDEFUMI;TACHIKAWA MASAMI |
分类号 |
H01L21/306;C30B25/18;H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/306 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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