发明名称
摘要
申请公布号 JPH02140864(U) 申请公布日期 1990.11.26
申请号 JP19890049119U 申请日期 1989.04.25
申请人 发明人
分类号 H01L23/12;H01L21/52;H01L31/02;H01S5/00;(IPC1-7):H01L31/02;H01S3/18 主分类号 H01L23/12
代理机构 代理人
主权项
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