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发明名称 MANUFACTURING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02302022(A) 申请公布日期 1990.12.14
申请号 JP19890123504 申请日期 1989.05.16
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 OKAMURA KOJI
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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