| 发明名称 |
METHOD FOR REGULATING OXYGEN CONCENTRATION IN SI SINGLE CRYSTAL AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03122089(A) |
申请公布日期 |
1991.05.24 |
| 申请号 |
JP19890260710 |
申请日期 |
1989.10.05 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
SONOKAWA SUSUMU;ARAKI KENJI;IWASAKI ATSUSHI;BABA MASAHIKO |
| 分类号 |
C30B15/20;C30B15/00;C30B29/06;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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