发明名称 PROCEDIMIENTO DE DESCOMPOSICION INDUCIDA POR PLASMA DE SILIL-CICLOBUTANOS PARA FORMAR RECUBRIMIENTOS CONTINUOS DE CARBURO DE SILICIO AMORFO.
摘要 METODO PARA FORMAR UN RECUBRIMIENTO CONTINUO DE CARBURO AMORFO DE SILICONA PARA LAS SUPERFICIES DE ARTICULOS, MEDIANTE LA DEPOSICION DE VAPOR QUIMICO DE PLASMA MEJORADO. EN EL METODO, EL VAPOR QUIMICO COMPRENDE UN CICLOBUTANO CONTENIENDO SILICONA, TAL COMO UN SILACICLOBUTANO O UN 1,3-DISILACICLOBUTANO. LOS RECUBRIMIENTOS FORMADOS CON ESTE METODO SON UTILES PARA APLICARLOS A LAS CELULAS SOLARES, PARA PREVENIR LA CORROSION DE LOS ELEMENTOS ELECTRONICOS, PARA FORMAR SUTRATOS DIELECTRICOS INTERMEDIOS ENTRE LOS SUSTRATOS DE METALIZACION DE LOS ELEMENTOS ELECTRONICOS, Y PARA HACER QUE LAS SUPERFICIES SEAN RESISTENTES A LA ABRASION.
申请公布号 ES2075146(T3) 申请公布日期 1995.10.01
申请号 ES19900303378T 申请日期 1990.03.29
申请人 DOW CORNING CORPORATION 发明人 SHARP, KENNETH GEORGE;TARHAY, LEO
分类号 C01B31/36;C23C16/32;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/314;(IPC1-7):C23C16/32;C23C16/50;C23C14/06 主分类号 C01B31/36
代理机构 代理人
主权项
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