| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FORMING OXIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03134153(A) |
申请公布日期 |
1991.06.07 |
| 申请号 |
JP19890269759 |
申请日期 |
1989.10.17 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
FUKUDA HISASHI;ARAKAWA TOMIYUKI |
| 分类号 |
C23C8/12;F27D7/02;H01L21/31;H01L21/316 |
主分类号 |
C23C8/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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