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发明名称 CHEMICAL TREATMENT DEVICE FOR HIGH PURITY
摘要
申请公布号 JPH03157111(A) 申请公布日期 1991.07.05
申请号 JP19890297941 申请日期 1989.11.15
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TSUTSUMI MICHINARI;SATO TETSUO;YOKOTA YOKO;ODERA SUSUMU
分类号 B01D37/04 主分类号 B01D37/04
代理机构 代理人
主权项
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