| 发明名称 |
MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03204923(A) |
申请公布日期 |
1991.09.06 |
| 申请号 |
JP19890344489 |
申请日期 |
1989.12.29 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
UEDA TOSHIYUKI;YAMAMOTO KOSAKU;TANAKA MASAHIRO |
| 分类号 |
H01L21/208;H01L21/368;(IPC1-7):H01L21/208 |
主分类号 |
H01L21/208 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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