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经营范围
发明名称
DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPH04187787(A)
申请公布日期
1992.07.06
申请号
JP19900316513
申请日期
1990.11.20
申请人
NITSUSHIN HAITETSUKU KK
发明人
OKAZAKI NAOTO;URANO SHINICHI;OGINO SEIICHI
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05K3/08
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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