提高半导体气敏元件灵敏度的方法

摘要

一种提高半导体气敏元件灵敏度的方法。该方法用两种不同导电类型的气敏材料构成P-N型或N-P型的整体气敏元件，特征是这两种气敏材料对待测气体均敏感，其电阻值R_N、R_P在清静空气中满足R_N∴R_P在检测气体浓度不太高时满足R_N∴R_P。根据本发明制作的元件，其灵敏度等于或大于构成它的N、P两种半导体敏感材料各自灵敏度的乘积，因而可实现检测气体的高灵敏度。同时还可实现选择性倍增，改善热稳定性和初期弛豫特性，增强抗环境湿度的能力。

主权项

1、一种提高半导体气敏元件灵敏度的方法。该方法用两种不同导电类型的气敏材料构成N-P型或P-N型的整体气敏元件，其特征在于这两种气敏材料对待测气体均敏感，其电阻值RN、RP在清静空气中满足RN》RP，在检测气体浓度不太高时满足R′N》R′P(或R′N＞R′P)。