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发明名称 DUST TIGHT STORAGE CABINET APPARATUS FOR USE IN CLEAN ROOMS
摘要
申请公布号 KR930002562(B1) 申请公布日期 1993.04.03
申请号 KR19870013096 申请日期 1987.11.20
申请人 SHIMIZU CONSTRUCTION CO., LTD.;SHINKO ELECTRIC CO., LTD. 发明人 IWASAWA, YOSHIYUKI;ISHIDA, TSUTOMU;HARADA, HIROSHI;OKAMOTO, KENJI
分类号 H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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