| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft einen Lecksucher (4) für Vakuumanlagen (1), welche eine während des Betriebs der Anlage unter Vakuum stehende Kammer (2) sowie eine der Evakuierung der Kammer dienende Vakuumpumpe (3) umfassen, wobei der Lecksucher (4) einen als Massenspektrometer ausgebildeten Testgasdetektor (6) sowie eine Hochvakuumpumpe (7) zur Erzeugung des für den Betrieb des Massenspektrometers erforderlichen Druckes aufweist; um die Lecksuche an Vakuumanlagen empfindlicher und mit weniger Aufwand durchführen zu können, wird vorgeschlagen, daß die Kammer der Vakuumanlage über eine Drossel (9) mit der Einlaß- und/oder Auslaßseite der Hochvakuumpumpe (4) verbindbar ist.</p> |
