| 发明名称 |
PROJECTION EXPOSURE METHOD AND ITS EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05291117(A) |
申请公布日期 |
1993.11.05 |
| 申请号 |
JP19920094067 |
申请日期 |
1992.04.14 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TERASAWA TSUNEO;OKAZAKI SHINJI;ITO MASAAKI;SEYA HIDEKAZU;KATAGIRI SOUICHI |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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