发明名称 Scrubber System
摘要 본 발명은 내부가 중공인 박스 형상이며, 내부의 상부에 가열 영역을 구비하며, 내부의 하부에 폐가스 유입홀과 폐가스 배출홀을 구비하는 가열 하우징과, 상하로 관통되는 다수의 유입 통로를 구비하며, 상기 가열 하우징의 내부에서 상기 가열 영역과 상기 폐가스 유입홀 사이에 위치하는 유입 유닛과 상하로 관통되는 다수의 배출 통로를 구비하며, 상기 가열 하우징의 내부에서 상기 가열 영역과 상기 폐가스 배출홀 사이에 위치하는 배출 유닛 및 상기 가열 영역의 내부로 유입되는 상기 폐가스를 가열하는 가열 유닛을 구비하는 가열부를 포함하는 스크러버 시스템을 개시한다.
申请公布号 KR101689166(B1) 申请公布日期 2016.12.26
申请号 KR20140141948 申请日期 2014.10.20
申请人 씨에스케이(주) 发明人 김형극;이상준;신승규;김남형
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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