发明名称 Verfahren zur Herstellung von monomolekularen Adsorptionsfilmen oder aus monomolekularen Schichten aufgebauten Filmen unter Anwendung von Silanen, die Acetylen- oder Diacetylenbindungen enthalten.
摘要
申请公布号 DE68915873(D1) 申请公布日期 1994.07.14
申请号 DE1989615873 申请日期 1989.06.27
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., KADOMA, OSAKA 发明人 TAMURA, HIDEHARU, SETAGAYA-KU TOKYO;OGAWA, KAZUFUMI, HIRAKATA-SHI OSAKA
分类号 B05D1/18;G02F1/361;H01B1/12;H01L21/285;H01L21/312;(IPC1-7):B05D1/18;C08F38/00 主分类号 B05D1/18
代理机构 代理人
主权项
地址