| 发明名称 |
GAS SUPPLY NOZZLE OF RADICAL REACTION TYPE PRECISION MACHINING DEVICE AND MANUFACTURE OF GAS SUPPLY NOZZLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06310476(A) |
申请公布日期 |
1994.11.04 |
| 申请号 |
JP19930099875 |
申请日期 |
1993.04.26 |
| 申请人 |
NIIGATA ENG CO LTD |
发明人 |
NAGAOKA HITOSHI;NISHIMURA AKIRA |
| 分类号 |
B23K10/00;B23P15/16;H01L21/304;H01M6/50;H01M10/48;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B23K10/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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