Method of Fabricating Perpendicularly Oriented Block Copolymer Thin Film By Introducing Star Polymer

摘要

본 발명에 의한 나노리쏘그래피(nanolithography) 공정에서 블록 공중합체와 중성의 성형 중합체(star polymer)를 블록 공중합체 박막에 도입하여 블록 공중합체의 미세구조가 기판과 수직한 방향으로 배향된 블록 공중합체 박막을 제조하여 추가의 기판 표면의 개질 공정 없이 마이크로도메인의 배향을 조절할 수 있으며, 기판의 종류에 관계없이 블록 공중합체 패턴을 다양하게 실시할 수 있다.