表面声波谐振腔滤波器

摘要

一种表面声波谐振腔滤波器，包括多个IDT，彼此紧挨地在36°Y截面X向传播式LiTaO₃基片上设置；多个反射器，设置在所述多个IDT的两侧，IDT和反射器的各电极由或主要由铝构成的铝合金制成；SiO₂薄膜形成得将IDT和反射器都覆盖住。电极厚度比T/λ和SiO₂薄膜厚度比H/λ设定在2.6％≤T/λ≤4.8％，22％≤H/λ≤38％的范围内，其中T表示所述IDT各电极的厚度，H表示所述SiO₂薄膜的厚度，λ表示表面声波的波长。

主权项

1.一种表面声波谐振腔滤波器，其特征在于，它包括：一种36°Y截面X向传播的LiTaO3基片；多个IDT，设置在所述LiTaO3基片上；多个反射器，设置在所述多个IDT的两侧；和SiO2薄膜，设置得使其覆盖住所述IDT和所述反射器；其中电极厚度比T/λ和SiO2薄膜厚度比H/λ取得满足以下不等式的条件：2.6％≤T/λ≤4.8％22％≤H/λ≤38％其中T表示所述IDT和反射器的各电极的厚度，H表示所述SiO2薄膜的厚度，λ表示在所述基片上产生的表面声波的波长，其长度为反射器电极间距的两倍。