| 摘要 |
<p>Die Platte für vertikale magnetische Datenspeicherung, in der der Schreib-/Lesevorgang senkrecht zur Plattenoberfläche erfolgt und die direkt von einem Schreib-/Lesekopf kontaktierbar ist, besteht aus einem Substrat (1) aus einkristallinem Silizium, dessen Oberfläche (6) eine Schicht aus porösem Silizium (2) bildet. Die Schicht aus porösem Silizium (2) enthält im wesentlichen senkrecht zur Oberfläche (6) des Substrats (1) verlaufende Poren (3), die mit einem magnetisierbaren Material (4) gefüllt sind. Zur Herstellung einer solchen Platte werden die Schritte Bereitstellen eines Substrats aus einkristallinem Silizium, Herstellen einer Schicht aus porösem Silizium in der Oberfläche des Substrats mit im wesentlichen senkrecht zur Oberfläche des Substrats verlaufenden Poren sowie Füllen der Poren mit einem magnetisierbaren Material benötigt. Bei einer solchen Platte kann der Schreib-/Lesekopf in direkten Kontakt mit der Siliziumsubstratoberfläche treten, ohne im Ruhezustand im Bereich der Porenoberfläche an der Platte festzukleben und über diese hinweggleiten, ohne daß Abrieberscheinungen auftreten, die die Zuverlässigkeit der einzelnen Speicherplatte und des Speicherplattensystems insgesamt beeinträchtigen.</p> |
