发明名称 |
- - COMPOSITIONS AND PROCESSES FOR DEPOSITING CARBON-DOPED SILICON-CONTAINING FILMS |
摘要 |
본원에는 탄소-도핑된 규소 함유 막을 증착시키기 위한 조성물로서, RSi(NRR)H(여기서, x=1, 2, 3)의 화학식을 갖는 오가노아미노알킬실란; RSi(OR)H(여기서, x=1, 2, 3)의 화학식을 갖는 오가노알콕시알킬실란; RN(SiR(NRR)H)의 화학식을 갖는 오가노아미노실란; RN(SiRLH)의 화학식을 갖는 오가노아미노실란, 및 이들의 조합물로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나의 화합물을 포함하는 제 1 전구체; 및 임의적으로 화학식 Si(NRR)H을 갖는 화합물을 포함하는 제 2 전구체를 포함하는 조성물이 기술된다. 또한, 본원에는 사이클릭 화학적 기상 증착(CCVD), 원자층 증착(ALD), 플라즈마 강화 ALD(PEALD), 및 플라즈마 강화 CCVD(PECCVD)로부터 선택된, 본 조성물을 사용하여 탄소-도핑된 규소-함유 막을 증착시키는 방법이 기술된다. |
申请公布号 |
KR101659463(B1) |
申请公布日期 |
2016.09.23 |
申请号 |
KR20147000044 |
申请日期 |
2012.06.01 |
申请人 |
에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드 |
发明人 |
시아오, 만차오;레이, 신지안;펄스타인, 로날드 마르틴;찬드라, 하리핀;카르와치, 유진 요셉;한, 빙;오네일, 마크 레오나르드 |
分类号 |
C23C16/30;C09D5/00;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/455 |
主分类号 |
C23C16/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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