六甲基二矽氨烷(HMDS)供应装置

摘要

一种六甲基二矽氨烷(HMDS)供应装置感应六甲基二矽氨烷经过一流量计之流动并且控制其流量，以便藉此防止产率之降低。该HMDS供应装置系具有一用以供应供HMDS使用之载气的载气供应器、一与该载气供应器连接并且用以承装该载气供应器的容器、一用以控制所供应之HMDS以及来自该容器之载气之流量的流量计、以及一用以将经由该流量计供应之 HMDS沈积在一晶圆表面上的HMDS处理器，该HMDS供应装置还包括：一以用显示在该流量计中之HMDS值的显示器；以及一具有一光源与一光感应器的光感应装置，以便用以藉由感应该显示器是否位于一最适当值来控制HMDS之流动。因此，由于一较差的HMDS处理步骤，发生在一感光层沈积过程中之缺点可以避免，使得产率可以提高、提供一减少制造成本之效果。

主权项

1.一种六甲基二矽氨烷(HMDS)供应装置,其具有一用以供应供HMDS使用之载气的载气供应器、一与该载气供应器连接并且用以承装该载气供应器的容器、一用以控制所供应之HMDS以及来自该容器之载气之流量的流量计、以及一用以将经由该流量计供应之HMDS沈积在一晶圆表面上的HMDS处理器,该HMDS供应装置还包括:一用以显示在该流量计中之HMDS値的显示器;以及一具有一光源与一光感应器的光感应装置,以便用以藉由感应该显示器是否位于一最适当値而来控制HMDS之流动。2.如申请专利范围第1项之HMDS供应装置,其中该光源是一发光二极体。3.如申请专利范围第1项之HMDS供应装置,其中该光源是一雷射二极体。图示简单说明:第1图是一结构图,显示安装在一感光层沈积装置中之习知HMDS供应装置;以及第2图是一结构图,显示依据本发明用以感应HMDS通过一流量计之流动的HMDS供应装置的操作部份。