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发明名称
摘要
申请公布号 JP2713979(B2) 申请公布日期 1998.02.16
申请号 JP19880118311 申请日期 1988.05.17
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/316;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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