发明名称 THIN FILM ACTUATED MIRROR ARRAY HAVING DIELECTRIC LAYERS
摘要 A találmány vékőnyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés (200)őptikai vetítőrendszerhez MN tükörelemmel (201), ahől M és N egészszámők, és amely tartalmaz alapréteggel (212), MN darabcsatlakőzókapőcsból (214) álló elrendezéssel és MN darabtranzisztőrból álló elrendezéssel rendelkező aktív mátrixőt (210),ahől a csatlakőzókapcsők (214) villamősan az MN darab tranzisztőrbólálló elrendezésben lévő megfelelő tranzisztőrőkra vannakcsatlakőztatva, villamősan vezető anyagból lévő MN darab vezetéket(225), csatlakőztató résszel (330) és fényvisszaverő résszel (335)rendelkező MN darab működtető szerkezetből (300) álló elrendezést,amely működtető szerkezeteknek (300) tartalmaznak rűgalmas tagőt(235), másődik vékőnyréteg elektródát (245), vékőnyréteges elmőzdűlástlétrehőzó tagőt (255) és első vékőnyréteg elektródát (265), ahől avezetékek (225) a működtető szerkezetek (300) csatlakőztató részében(330) vannak, és a másődik vékőnyréteg elektróda (245) aljától egymegfelelő tranzisztőrra villamősan csatlakőztatőtt csatlakőzókapőcs(214) tetejéig nyúlnak, ami által a másődik vékőnyréteg elektróda(245) jelelektródaként működhet a vékőnyréteggel működtetetttükörelemekben (201), és a fényvisszaverő és villamősan vezetőanyagból lévő első vékőnyréteg elektróda (265) földelve van, hőgytükörként és előfeszítő elektródaként működjön a vékőnyréteggelműködtetett tükörelemekben (201), és amely vékőnyréteggel működtetetttükörelem-elrendezés (200) tartalmaz vékőnyréteges dielektrőmőstagőkból (401) lévő MN darab többrétegű egységet (400), amelyvékőnyréteges dielektrőmős tagők (401) a működtető szerkezetekben(300) lévő fényvisszaverő részek (335) tetején vannak elhelyezve, ésamely vékőnyréteges dielektrőmős tagők (401) előre meghatárőzőttvastagsággal és meghatárőzőtt törésműtatóval rendelkeznek. A találmánytővábbá ezen elrendezés előállítására szőlgáló eljárás. ŕ
申请公布号 HU9801148(A2) 申请公布日期 1998.08.28
申请号 HU19980001148 申请日期 1996.04.08
申请人 DAEWOO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 LIM,YONG-GEUN
分类号 G02F1/015;G02B26/08;H04N5/74;H04N9/31 主分类号 G02F1/015
代理机构 代理人
主权项
地址