发明名称 冷媒储存箱
摘要 一种冷媒储存箱,用以装配于一NIKON步进机上,系在储存容器的一侧装配一透明管,以便能随时查检储存容器内之冷媒的目前液位高度是否正常,以改善传统冷媒储存箱没有办法检查目前冷媒液位高度的缺点,进而避免步进机因冷媒外泄或不足而发生故障或当机的情形。
申请公布号 TW372657 申请公布日期 1999.10.21
申请号 TW087205035 申请日期 1998.04.03
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 邱仕勋;李立中;贾伟圣;郑英明
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 詹铭文
主权项 1.一种冷媒储存箱,用以装配于一步进机上,包括:一储存容器,该储存容器具有一冷媒注入口;一封盖物,覆盖该冷媒注入口;以及一透明管,该透明管的两端分别具有一第一接头与一第二接头,用以透过该第一接头与该第二接头将该透明管拴锁于该储存容器上。2.如申请专利范围第1项所述之冷媒储存箱,其中该储存容器更包括一循环输出管及一循环输入管,该储存容器内之冷媒系以经由该循环输出管输出至一制程装置,经该制程装置处理后,再由该循环输入管输入回该储存容器的方式做循环操作。3.如申请专利范围第2项所述之冷媒储存箱,其中该制程装置包括一压缩机。4.如申请专利范围第1项所述之冷媒储存箱,其中该储存容器更包括复数个孔洞,用以透过该些孔洞装配该储存容器于该步进机上。5.如申请专利范围第1项所述之冷媒储存箱,其中该储存容器的材质包括不锈钢。6.如申请专利范围第1项所述之冷媒储存箱,其中该封盖物包括一金属盖板及一垫片。7.如申请专利范围第6项所述之冷媒储存箱,其中该金属盖板具有一提起物。8.如申请专利范围第1项所述之冷媒储存箱,其中该透明管的材质包括聚氯乙烯。9.如申请专利范围第1项所述之冷媒储存箱,其中该透明管的材质包括塑胶。10.如申请专利范围第1项所述之冷媒储存箱,其中该透明管的材质包括树脂。11.如申请专利范围第1项所述之冷媒储存箱,其中该透明管的材质包括四氟乙烯。12.如申请专利范围第1项所述之冷媒储存箱,其中该步进机系为一NIKON步进机。图式简单说明:第一图绘示的是传统冷媒储存箱的上视图;第二图绘示的是传统冷媒储存箱的侧视图;第三图绘示的是传统冷媒储存箱的分解俯视图;第四图绘示的是依照本创作一较佳实施例之冷媒储存箱的上视图;第五图绘示的是依照本创作一较佳实施例之冷媒储存箱的侧视图;以及第六图绘示的是依照本创作一较佳实施例之冷媒储存箱的分解俯视图。
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