超高密度碟片刻片装置

摘要

本实用新型涉及一种超高密度碟片刻片装置，其包含有：一光源产生器，用以产生一具特定波长的光源；一旋转平台，用以承载并驱动一刻片基板旋转；一刻片加工装置，包含有一光源导引件以及一驱动组件；该驱动组件，是与该导引件连接，一往复机构，是与该刻片加工装置连接，藉此，经由该导引件所导引的光源，可直接照射曝光于该基板表面，并藉由该往复机构及该旋转平台来控制该基板上该曝光点的位置。

主权项

1.一种超高密度碟片刻片装置，其特征在于包含有：一光源产生器，以产生一具特定波长的光源；一旋转平台，以承载并驱动一刻片基板旋转；一刻片加工装置，它包含有一光源导引件以及一驱动组件；其中该光源导引件具有一进口端及一出口端，以引导该光源自该进口端进入该导引件并自该出口端射出；而该驱动组件，是与该导引件连接，以使该导引件的出口端与该刻片基板表面的距离，维持在小于该光源波长的范围内；一往复机构，它与该刻片加工装置连接，它可驱动该导引件的出口端沿一直线方向往复位移；经由该导引件所导引的光源，可直接照射曝光于该基板表面，并由该往复机构及该旋转平台以控制该基板上该曝光点的位置。