| 摘要 |
【课题】提供一即使于如玻璃面那样低反射率之部分也能得到充分的侦测感度之具备间隙设定机构之近接曝光装置。【解决手段】间隙测定部10,设置有测定用光源,与针孔板,与物镜，与受光器等,且使由上述之测定用光源出来的光,经由上述针孔板,物镜而照射于光罩／工件面,并使其反射光经由物镜,针孔板而由上述受光元件所接受。若光罩／工件面位于物镜之接物面侧焦点时,则强度大的反射光入射于受光器。测定光罩与工件之间隙时,使间隙测定部10于Z方向移动,来侦测光罩M与工件W之两个反射光强度的峰值,而得以求得此时之间隙测定部10的位置至光罩M与工件W之间隙。测定光罩M与工件W之间隙后,将光罩M与工件W的间隙调整至所要值来进行曝光。【选择图】第1图 |
| 主权项 |
1.一种具有间隙设定机构之近接曝光装置,其特征为:具有照射紫外线之紫外线照射部,和保持光罩之光罩平台部,和使工件保持于与上述光罩于所设间隙且呈近接状态之工件平台部,和调整接续于上述工件平台之上述工件与上述光罩的上述间隙之间隙调整机构,和间隙测定部,和使该间隙测定部对于与上述光罩以及上述工件之垂直方向进行连续或者逐次地移动的间隙测定部移动机构,和侦测上述间隙测定部之位置的位置侦测器,和演算光罩与工件之间隙的演算部,且,上述间隙测定部具备,测定用光源,与光束分叉器,与针孔板,与物镜,以及受光器,上述测定用光源配置成,能使由该光源所照射出的光经由上述光束分叉器,而聚光于上述针孔板,上述针孔板配置于,位于上述物镜之接物面侧焦点的反对侧之焦点,且使通过上述针孔板之上述测定用光源的光能聚光于上述物镜之接物面侧焦点位置,上述受光器配置于,使通过上述物镜以及上述针孔,且通过前述光束分叉器之来自上述光罩以及上述工件的反射光,能受光之位置,上述演算部系依,来自上述受光器之输出讯号,以及来自上述位置侦测器之输出讯号来进行上述间隙値的演算。2.如申请专利范围第1项之具有间隙设定机构之近接曝光装置,其特征为:上述针孔板的针孔为多数针孔之集合体。3.如申请专利范围第1或2项之具有间隙设定机构之近接曝光装置,其特征为:上述间隙测定部具备有第2受光器,上述光束分叉器配置于,能将上述测定用光源的光分割成2支,被分割的光之一分支照射于上述针孔板,另一分支入射于上述第2受光器,上述演算部具备有,演算上述受光器与上述第2受光器之输出讯号并据以修正上述测定用光源的光强度之变动,的功能。4.如申请专利范围第1或2项之具有间隙设定机构之近接曝光装置,其特征为:上述光束分叉器为偏光光束分叉器,藉由该偏光光束分叉器,使由上述测定用光源照射出来之光偏向于第1偏光方向,同时使上述第1偏光方向之光透过,并使与上述第1偏光方向不同的第2偏光方向之光入射于上述受光器,又,于上述针孔板与接物面侧焦点间之光路中,配置1/4波长板,藉由该1/4波长板,使被上述偏光光束分叉器所偏光的第1偏光方向之偏光变换成圆偏光,同时将来自上述光罩与上述工件圆偏光之反射光变换成第2偏光方向的光。5.如申请专利范围第1或2项之具有间隙设定机构之近接曝光装置,其特征为:上述间隙测定部具备第2光源的摄像元件,上述第2光源被配置于,能使由该光源照射出来的光通过上述物镜,并能照射于上述光罩以及上述工件的位置,上述摄像元件被配置于,能接受上述光罩以及工件的受像位置。6.如申请专利范围第1或2项之具有间隙设定机构之近接曝光装置,其特征为:上述光罩系映像显示画素制作用的光罩,且位于光罩图样形成面之测定用光源的光束之断面形状系,可包含于上述光罩之于图样领域所形成的开口部之形状。图式简单说明:第一图所示系本发明实施例之近接曝光装置的概略构成图。第二图所示系本发明之第1实施例的间隙测定部的构成图。第三图所示系设置于针孔板的针孔配置例之配置图。第四图所示系经由多数针孔之反射光结像于第1受光器的受光面之结像图。第五图所示系本发明之第2实施例的间隙测定部的构成图。第六图系于彩色液晶显示器之1画素与,针孔的投影像之例的所示图。 |
