| 主权项 |
1.一种由覆盖基质之层中移除无机染物之方法,该方法包括步骤:以至少一种移除剂移除覆盖该基质之该层;使该无机污染物与至少一种转化剂反应,藉此转化该无机污染物;使该被转化的无机污染物接触至少一种溶剂试剂以移除之,该溶剂试剂被包含于第一超临界流体中;且其中该被转化的无机污染物较该无机污染物更高度可溶于该溶剂试剂中。2.根据申请专利范围第1项之方法,其中该转化剂系选自:一酸性剂、一硷性剂、一钳合剂、一配位剂、一含卤素的试剂及彼等之任一组合。3.根据申请专利范围第1项之方法,其中该转化剂系由HF所组成。4.根据申请专利范围第1项之方法,其中该转化剂被包含于超临界CO2中。5.根据申请专利范围第1项之方法,其中该溶剂试剂系选自:一极性气体、一非极性气体、一极性超临界流体、一非极性超临界流体、一极性物种、一非极性物种、一表面活性剂、一清洁剂、一两性物质或一钳合剂。6.根据申请专利范围第1项之方法,其中该溶剂试剂被包含于超临界CO2中。7.根据申请专利范围第1项之方法,其中该覆盖层系由天然氧化物所组成。8.根据申请专利范围第1项之方法,其中该以移除剂移除该覆盖基质之层的步骤及使该无机污染物与一种转化剂反应之步骤系同时实施。9.根据申请专利范围第1项之方法,其中该以移除剂移除该覆盖基质之该层的步骤、使该无机污染物与一种转化剂反应之步骤、及移除该经转化的无机污染物的步骤系同时实施。10.根据申请专利范围第1项之方法,其中在实施该以移除剂移除该覆盖基质之该层的步骤之后,接着同时实施该无机污染物与一种转化剂反应之步骤及移除该经转化之无机污染物的步骤。11.根据申请专利范围第1项之方法,其中该移除剂系由HF所组成。12.根据申请专利范围第11项之方法,其中该移除剂被包合于第二超临界流体中。13.根据申请专利范围第12项之方法,其中该第二超临界流体系由超临界CO2所组成。14.根据申请专利范围第1项之方法,其中该移除剂系由HF所组成。15.一种由覆盖基质之层中移除无机污染物之方法,该方法包括步骤:以至少一种移除剂移除覆盖该基质之该层,该移除剂被包含于第一超临界流体中;使该无机污染物与至少一种转化剂反应,藉此转化该无机污染物,该转化剂被包含于第二超临界流体中;使该被转化的无机污染物接触至少一种溶剂试剂以移除之,该溶剂试剂被包含于第三超临界流体中;且其中该被转化的无机污染物较该无机污染物更高度可溶于该溶剂试剂中。16.根据申请专利范围第15项之方法,其中该以移除剂移除该覆盖基质之该层的步骤及使该无机污染物与一种转化剂反应之步骤系同时实施。17.根据申请专利范围第15项之方法,其中该以移除剂移除该覆盖基质之该层的步骤、使该无机污染物与一种转化剂反应之步骤、及移除该经转化的无机污染物的步骤系同时实施。18.根据申请专利范围第15项之方法,其中在实施该以移除剂移除该覆盖基质之该层的步骤之后,接着同时实施该无机污染物与一种转化剂反应之步骤及移除该经转化之无机污染物的步骤。图式简单说明:第一图是根据本发明一具体例之简单清洁系统示意图。第二图a-第二图d系说明本发明之一具体例之横截面图。 |
