| 主权项 |
1.一种应用于化学液供给/排放系统之无内漏管路装置,其包括:一供给控制阀模组,系由一第一控制阀与一第二控制阀所组成,以控制化学管路之供给操作;一供给之漏流检测器,其输入端连接至该供给控制阀模组,输出端则连接至排放管路,以检测经由该供给控制阀模组的误动作所产生之内漏的化学液,并将之排放至排放管路;一制程室,其一输入端连接至该供给控制阀模组之一输出端,以接收流经正常动作下之供给控制阀模组的化学液;一帮浦,其输入端系连接至该制程室,以接收自制程室所排出之化学液;一过滤器,其输入端系连接至该帮浦与一排放控制阀模组,而其输出则连接至该制程室,以将过滤之欲排放化学液排放至该排放控制阀模组;一排放控制阀模组,系由一第三控制阀与一第四控制阀所组成,以控制化学管路之排放操作;以及一排放之漏流检测器,其输入端系连接至该排放控制阀模组,而输出端则连接至排放管路,以检测经由该排放控制阀模组的误动作所产生之内漏的化学液,并将之排放至排放管路。2.如申请专利范围第1项之应用于化学液供给/排放系统之无内漏管路装置,其中该第一控制阀系为一常关控制阀,而第二控制阀系为一常开控制阀。3.如申请专利范围第1项之应用于化学液供给/排放系统之无内漏管路装置,其中该供给控制阀模组之常关控制阀与常开控制阀系为气动式或者藉由电子讯号所控制者。4.如申请专利范围第1项之应用于化学液供给/排放系统之无内漏管路装置,其中当控制讯号是低位准时,第一控制阀是管路装置,其中当控制讯号是低位准时,第一控制阀是关闭的,而第二控制制阀则为开放的,此时,如果第一控制阀产生误动作时,内漏之化学液会经由第控制阀与第二控制阀而流至漏流检测器。5.如申请专利范围第1项之应用于化学液供给/排放系统之无内漏管路装置,其中在正常操作下,即当控制讯号是高位准时,第一控制阀是开启的,而第二控制阀则为关闭的,供给控制阀模组则会将化学液流入制程室,以提供晶圆制造时所需之化学液。6.如申请专利范围第1项之应用于化学液供给/排放系统之无内漏管路装置,其中该第三控制阀系为一常关控制阀,而第四控制阀系为一常开控制阀。7.如申请专利范围第1项之应用于化学液供给/排放系统之无内漏管路装置,其中该排放控制阀模组之常关控制阀与常开控制阀系为气动式或者藉由电子讯号所控制者。8.如申请专利范围第1项之应用于化学液供给/排放系统之无内漏管路装置,其中当控制讯号是高位准时,第三控制阀是开启的,而第四控制阀则为关闭的,此时为正常操作之模态,废液直接经由第三控制阀被排放至排放管路。9.如申请专利范围第1项之应用于化学液供给/排放系统之无内漏管路装置,其中当控制讯号是低位准时,第三控制阀是关闭的,而第四控制阀则为开启的,此时,如果第三控制阀产生误动作时,内漏之化学液会经由第三控制阀与第四控制阀而流至排出之漏流检测器。10.如申请专利范围第1项之应用于化学液供给/排放系统之无内漏管路装置,其中该供给/排放控制阀模组更可以被积体化成新型的供给控制阀,其包括:一常关控制阀与一常开控制阀于内部,以及一流出埠、一流入埠、一检测/旁路埠以及一功率埠;其中该流入埠系连接至常关控制阀,常关控制阀之输出端分别连接至流出埠与常开控制阀,常开控制阀之输出端连接至检测/旁路埠,而功率埠则对常关控制阀与常开控制阀输入电源。图式简单说明:第一图系绘示习知技艺所揭示之化学液供给/排放系统之示意图;第二图系绘本创作实施例所揭示之应用于化学液供给/排放系统之无内漏管路管装置示意图;以及第三图、第四图系为本创作实施例所揭示之两种新型的供给/排放控制阀。 |
