COMPOSITION FOR FORMING THIN FILM AND OPTICAL THIN FILM
摘要
본 발명은, 높은 내습성, 저스플래쉬(low splash), 또한 보충(繼足) 이용 가능한 광학 박막 형성용의 조성물을 제공하는 것을 과제로 한다. 상기 과제를 해결하기 위해서, 조성식 LaTiAlO(w+x+y=100이라 했을 때에, w=19∼54, x+y=81∼46(x:y=1:99∼99:1), 1.5w+1.5x+1.5y≤z≤1.5w+2x+1.5y)으로 표시되는 박막 형성용 조성물을 제공한다.