| 主权项 |
1.一种用以连接前门开启组合盒至基材输送装置的设备,该设备至少包含:一低组合盒支撑平台;一高组合盒支撑平台,该高组合盒支撑平台位于该低组合盒支撑平台之上并有间隙相隔,该间隙可以一组合盒置于该低平台上;一低组合盒开门器介面,该介面接合该低平台中该组合盒之一前门;一高组合盒开门器介面,该介面接合该低平台中该组合盒之一前门,该高低介面相互连接,所以该低介面的移动将会带动该高介面;一水平致动器,该致动器位于该低平面之下,用于水平带动该组合盒及该门开启之介面,以自该组合盒移动前门;与一垂直致动器,该致动器位于该低平面之下,用于同时一起降低该两个门开启介面,以及由该介面所带动之该组合盒门,以允许该组合盒内部中之基材的存取。2.如申请专利范围第1项所述之设备,包括平台致动器,该平台致动器用以水平移动该平台。3.如申请专利范围第2项所述之设备,包括支撑,该支撑用以连接该平台,所以在该平台致动器的驱动下,该支撑与该平台一起移动如同一整体组合。4.一种连接与开启前门可开启组合盒与设备之间的方法,用以使基材移入或移出该组合盒,该方法至少包含:安置一该组合盒于该低平台上,该低平台装置于该设备之上;安置另一该组合盒于该高平台上,该平台位于该低平台之上并有间隙相隔;安置低组合盒开门器介面于该低组合盒之前门的前面,与安置高组合盒开门器介面于该高组合盒之前门的前面,该高低介面相互接合,且如整体组合般一起移动;产生该门介面与该组合盒之间的水平相对移动,以使该门介面与该门连接产生该组合盒及该门开启介面之间的相对动作,藉由位于该低组合盒下方之致动器,同时自该高低组合盒缩回该门,启由致动器产生的粒子会远离已开启的组合盒;与降低该门开启介面组合与该组合盒门至一位置,以进入其中上述之组合盒之该内部,用以将基材自该组合盒中移开。5.如申请专利范围第4项所述之方法,其中上述之移动为将该门向内缩,该移动的产生是藉由在低组合盒下方的致动器,所以致动器所生成的粒子会远离开启的组合盒,而且其中上述之移动步织包含降低该门开启的组合,且降低的动作系藉由在低组合盒下方的致动器,所以将该门下降致动器产生粒子所造成该基材的污染伤害减至最小。6.如申请专利范围第4项所述之方法,包含水平移动该组合盒的步骤,并造成组合盒前门与垂直盒壁的开启部分对齐排列,也造成门的架构囓合开启部分周围的盒壁。7.如申请专利范围第6项所述之方法,包含将组合盒回归到该平台,其系藉由下列步骤:上升该整体组合以与该组合盒对齐排列;水平移动门至进入组合盒的囓合区及;将组合盒连同门移动离开盒壁。图式简单说明:第1图为一侧面,本发明对应设备之示意图。第2图为第1图线2-2之示意图,叙述了FOUP平台上方的支撑。第3图为第1图中,自基材制程设备内部,观察开门机构的立体示意图。第4图为一典型FOUP之立体示意图。 |
