| 发明名称 |
CYCLIC SPIKE ANNEAL CHEMICAL EXPOSURE FOR LOW THERMAL BUDGET PROCESSING |
| 摘要 |
단일 프로세싱 챔버 내에서의 막(film)의 순차적 증착 및 어닐링을 위한 장치 및 방법들이 제공된다. 프로세스 가스들로부터 격리되는 구역에서 프로세싱 챔버 내에 포지셔닝되는 에너지 소스가, 형성되고 있는 디바이스의 열 버짓(thermal budget)을 초과함으로 인해 하부 층들을 손상시키지 않으면서, 기판 상에 막을 급속하게 형성하고 분해(decompose)하는 데에 사용될 수 있다. |
| 申请公布号 |
KR20160138246(A) |
申请公布日期 |
2016.12.02 |
| 申请号 |
KR20167030027 |
申请日期 |
2015.03.25 |
| 申请人 |
어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 |
发明人 |
톰슨, 데이비드;다이, 후이시옹;마틴, 패트릭 엠.;마이클슨, 티모시;나렌드나트, 카드탈라 알.;비저, 로버트 잔;수, 징징;창, 린 |
| 分类号 |
H01L21/02;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/56;H01L21/324;H01L21/683;H01L21/687 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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