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发明名称
半导体装置及其制造方法
摘要
在P型矽基板上形成一埋入氧化物(BOX)层与一绝缘层上之矽(SOD)层,更在在该SOI层上形成一P井与一N井。第一P型扩散区位于S/D区下方,第二P型扩散区位于通道区下方,第三P型扩散区位于介于STI区4与BOX层2间之区域,做为一本体接点的第四P型扩散区形成在P井内,第二与第三P型扩散区位在同一高度,而且第二与第三P型扩散区形成具有之杂质浓度高于第一P型扩散区的杂质浓度。
申请公布号
TW200308099
申请公布日期
2003.12.16
申请号
TW092115660
申请日期
2003.06.10
申请人
NEC电子股份有限公司
发明人
三宅慎一;今井清隆;池田昌弘;工藤智彦
分类号
H01L29/786
主分类号
H01L29/786
代理机构
代理人
周良谋;周良吉
主权项
地址
日本
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