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法人/股东/高管

发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERGEGENSTANDS
摘要
申请公布号	AT266258(T)	申请公布日期	2004.05.15
申请号	AT19970309196T	申请日期	1997.11.14
申请人	CANON KABUSHIKI KAISHA	发明人	SAKAGUCHI, KIYOFUMI;YONEHARA, TAKAO;ATOJI, TADASHI
分类号	H01L21/304;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/20	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
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