具电弧处理之高尖峰功率电浆脉冲供应器

摘要

本发明提供一种新颖的磁控溅镀设备，其一般系由能够传输0.1百万瓦至数百万瓦尖峰功率、尖峰功率密度大于1kW／cm^2的脉冲直流电源供应器所构成的。该电源供应器具有一由一能量储存电容器及与一切换机构产生串联的电感器所组成的脉冲电路，用以在侦测到电弧情况时让该脉冲电路与该电浆解除连接，并且让电感器能量回流至该能量储存电容器之中。该能量储存电容器及该串联的电感器提供与该电浆匹配的阻抗、在发生电弧时用以限制电流的上升速率及尖峰大小、并且调整送至该电浆的该等电压脉冲的波形。