| 摘要 |
부품을 제조하기 위한 방법에서,구조층과 절연 물질로 충진되는 트렌치를 포함하는 제1 층 복합물의 먼저 생성된다. 구조층은 적어도 제1 영역에서 전기적으로 전도성이다. 절연 물질로 충진되는 트렌치는 구조층의 제1 표면으로부터 연장되며, 구조층의 제1 영역에 배치된다. 구조층의 제1 표면은 제1 층 복합물의 제1 표면과 마주한다. 방법은 또한 제2 층 복합물의 제1 표면에 제1 오목부를 구비하는 제2 층 보합물을 생성하는 단계와, 제1 층 복합물을 제2 층 복합물에 연결하는 단계를 포함한다. 제1 층 복합물의 제1 표면은 제2 층 복합물의 제1 표면과 적어도 일부 영역에서 맞닿으며, 상기 충진 트렌치는 제1 오목부의 수평 위치 내에 배치된다. 제1 층 복합물이 제 층 복합물에 연결된 이후, 제1 층 복합물의 제2 표면으로부터 충진 트렌치의 깊이까지의 제1 층 복합물의 두께가 감소된다. 제1 층 복합물의 제2 표면은 제1 층 복합물의 제1 표면과 반대편에 놓여있다. 방법은 구조층에 능동 구조물을 생성하는 단계를 더 포함하며, 상기 구조층은 두 개의 구조층의 제1 영역에 배치되며 기계적으로는 서로 단단히 연결되나 충진 트렌치에 의해 전기적으로 서로 절연되는 제2 영역들을 포함한다. |
