| 摘要 |
一种具有通式CpMCp’之不对称二取代之二茂金属化合物，其中M为一种选自Ru、Os和Fe的金属，Cp为一种包括至少一个取代基D1的第一取代之环戊二烯基或基部分；Cp’为一种包括至少一个取代基D1’的第二取代之环戊二烯基或基部分。D1和D1’不同。D1为X；Ca1Hb1Xc1；Ca2Hb2Xc2(C＝O)Ca1Hb1Xc1；或Ca2Hb2Xc2OCa1Hb1Xc1，其中X为卤素原子或硝基；a1为在2和8之间的整数，b1为在0和2(a1)＋1–c1之间的整数；c1为在0和2(a1)＋1–b1之间的整数；b1＋c1为至少1；a2为在0和8之间的整数；b2为在0和2(a2)＋1–c2之间的整数，和c2为在0和2(a2)＋1–b2之间的整数；及D1’为X；Ca1H@sB!b1Xc1；Ca2Hb2Xc2(C＝O)Ca1Hb1Xc1；或Ca2Hb2Xc2OCa1Hb1Xc1，其中X为卤素原子或硝基；a1为在1和8之间的整数；b1为在0和2(a1)＋1–c1之间的整数；c1为在0和2(a1)＋1–b1之间的整数；b1＋c1为至少1；a2为在0和8之整数；b2为在0和2(a2)＋1–c2之间的整数；及c2为在0和2(a2)＋1–b2之间的整数。该等化合物可使用作为薄膜沉积方法中的前驱物。 |
