摘要 |
本发明系关于一种光阻剂用树脂之制造方法,其特征为具有(a)使对甲酚与甲醛反应,以得到酚树脂A之步骤;及(b)在酸性触媒之存在下,使间甲酚或间甲酚与甲醛于上述酚树脂A中反应,以得到酚树脂B之步骤;上述酚树脂A中,二亚甲醚键结之比例占键结于酚核之二亚甲醚键结、亚甲基键结、羟甲基键结之总计之50%以上。根据本发明,可提供于液晶显示器(LCD)等之电路基材制造步骤中,减低烘乾时或蚀刻时昇华之光阻剂中之树脂成分、改良制造步骤之良率、提高生产性之光阻剂用树脂之制造方法,及使用此光阻剂用树脂之光阻剂组成物。 |