低介电材料的处理方法以及半导体元件

摘要

一种低介电材料的处理方法以及半导体元件。首先，提供一低介电材料。然后，对低介电材料进行一第一处理而改变低介电材料的第一特性。接着，对低介电材料进行一第二处理而改变低介电材料的第二特性。如此就能制造出具有较好机械稳定性的低介电材料。