微影装置及元件制造方法

摘要

本发明揭示一种用于一浸没微影投影装置之液体供应系统，其中在该投影系统、一障壁构件与一基板之间界定一空间。该障壁构件未密封，因此在使用期间允许浸液流出该空间，并于该障壁构件与该基板之间流动。