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发明名称 SYSTEM MAKING DI WATER
摘要
申请公布号 KR20050099878(A) 申请公布日期 2005.10.17
申请号 KR20040025099 申请日期 2004.04.12
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, HAE SUNG;SON, HAN SOO
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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