雷射加工装置

摘要

于雷射加工装置当中，乃具备，将雷射振荡器1所射出的雷射光引导至被加工物(20)的多数的光学元件所组成的光学系统，并以第一偏光分离机构(5)将一条雷射光分光为两条雷射光，一条经由反射镜(14)，另一条由第一检流扫描镜(Galvano Scan Mirror)(13)向2轴方向扫描，于引导两条雷射光至第二偏光分离机构(8)之后，由第二检流扫描镜(12)进行扫描，而加工被加工物(20)。此雷射加工装置特征为，以对雷射光的光轴呈45°的方式来配置上述第一及第二偏光分离机构。