发明名称 A METHOD FOR FORMING A DUAL DAMASCENE PATTERN IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050118469(A) 申请公布日期 2005.12.19
申请号 KR20040043600 申请日期 2004.06.14
申请人 MAGNACHIP SEMICONDUCTOR, LTD. 发明人 CHO, IHL HYUN
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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