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Ein Drucksensor enthält: ein erstes Substrat (10), das erste und zweite Membranen (15a, 15b) auf einer Oberfläche aufweist, die durch erste und zweite Vertiefungen (14a, 14b) auf einer anderen Oberfläche bereitgestellt werden; erste und zweite Erfassungselemente (16a, 16b) auf den ersten und zweiten Membranen; ein zweites Substrat (30), das eine erste Bezugsdruckkammer (40) mit der einen Oberfläche des ersten Substrats bereitstellt; ein drittes Substrat (50), das eine zweite Bezugsdruckkammer (60) bereitstellt, die die zweite Vertiefung abdichtet; und einen Rechner (90), der einen Offset durch eine Differenz zwischen Bezugs- und Inspektionssignalen berechnet und den Druck des Messmediums durch eine Differenz zwischen dem Erfassungssignal und dem Offset-Wert erfasst. Das erste Erfassungselement gibt das Erfassungs- oder Inspektionssignal entsprechend einer Druckdifferenz zwischen dem ersten Bezugsdruck und einem Bezugsmediumdruck oder einem Messmediumdruck in der ersten Vertiefung aus. Das zweite Erfassungselement gibt das Bezugssignal entsprechend einer Differenz zwischen dem ersten und zweiten Bezugsdruck aus. |
