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1.一种受激准分子灯发光装置,属于藉由介设介质 材料的放电来放射真空紫外光的受激准分子灯,及 对于该受激准分子灯供给所定电力的供电装置,及 加热冷却受激准分子灯的温度所用的温度调整手 段,及检测受激准分子灯的温度而且维持于所定目 标温度値所用的控制部所构成的受激准分子灯,其 特征为: 上述供电装置是藉由上述控制部将上述受激准分 子灯的温度概略地维持成一定在点灯前就比常温 高的目标温度。 2.如申请专利范围第1项所述的受激准分子灯发光 装置,其中,上述受激准分子灯的温度是发光管外 表面的温度,被维持在80℃至200℃范围的温度。 3.如申请专利范围第2项所述的受激准分子灯发光 装置,其中,上述受激准分子灯的温度是发光管外 表面的温度,被维持在100℃至160℃范围的温度。 4.如申请专利范围第1项所述的受激准分子灯发光 装置,其中,上述受激准分子灯的温度是在20℃范 围被维持在一定。 5.如申请专利范围第1项所述的受激准分子灯发光 装置,其中,上述温度调整手段是配置于受激准分 子灯的外表面的加热器。 6.如申请专利范围第1项所述的受激准分子灯发光 装置,其中,上述温度控制手段是流在受激准分子 灯所保持的金属块中的冷却水。 7.如申请专利范围第1项所述的受激准分子灯发光 装置,其中,上述控制部是随着上述受激准分子灯 的经时劣化来变更上述目标温度。 图式简单说明: 第1图是表示本发明的受激准分子灯发光装置的整 体图。 第2图(a),(b)是表示本发明的受激准分子灯的图式 。 第3图是表示受激准分子灯的一般性说明所用的图 式。 第4图是表示受激准分子灯的一般性说明所用的图 式。 第5图是表示本发明的受激准分子灯发光装置的控 制系统的方块图。 |
