| 摘要 |
1. Источник экстремального ультрафиолетового излучения с лазерной плазмой на длине волны 13,4 нм, состоящий из мишени, коллекторного брэгговского зеркала и первичных импульсных лазеров (источников) с оптическими системами их фокусировки на мишень, отличающийся тем, что в качестве мишени используется перематываемая, пропущенная через капилляр тонкая проволока, залуженная оловом или покрытая оловянным сплавом (композицией), а в качестве первичного лазерного источника используются два лазера: первый - относительно коротковолновый, сфокусированный на поверхность проволоки, служащий для возгонки олова, генерации плазменного облачка и его предварительного разогрева, и второй - длинноволновый, СO2 лазер для обеспечения оптимальной температуры плазмы, сфокусированный поверх мишени непосредственно на плазменное облачко и излучающий импульс света с заданной задержкой времени относительно первого лазера. ! 2. Источник по п.1, отличающийся тем, что вдоль оси проволоки создается импульсное магнитное поле, синхронизированное с импульсами лазеров и направленное вдоль нее, при этом поле создается внутри замкнутого боченкообразного магнитопровода, имеющего отверстия для пропускания пучков излучения, как первичных лазеров, так и экстремально ультрафиолетового излучения, замкнутого по магнитному полю капилляром с пропущенной сквозь него проволокой, которые изготавливаются из магнитоконцентрирующих сплавов. ! 3. Источник по пп.1 и 2, отличающийся тем, что создаваемая в источнике импульсная струя инертного газа направлена вдоль тонкой проволоки по капилляру, сквозь который пропущена проволока, притом стенка капилляра � |
