Apparatus for growing graphene using plasma heating

摘要

본 발명은 그래핀의 제조 장치에 관한 것으로 특히, 플라즈마 가열을 이용한 그래핀의 제조 장치에 관한 것이다. 이와 같은 본 발명은, 유입부 및 배기부를 포함하는 챔버; 상기 챔버 내에 위치하는 기판에 플라즈마를 발생시켜 상기 기판을 가열시키는 가열부; 및 상기 가열부에 전원을 공급하는 전원부를 포함하여 구성된다.