发明名称 PRODUCTION OF SILICON CRYSTAL MEMBRANE
摘要
申请公布号 JPS533903(A) 申请公布日期 1978.01.14
申请号 JP19760077032 申请日期 1976.07.01
申请人 KOGYO GIJUTSUIN 发明人 ITOU HARUO;SAITOU TADASHI;KETSUSAKO MITSUNORI;NAKAMURA NOBUO
分类号 C30B13/06;C30B13/34;C30B29/06 主分类号 C30B13/06
代理机构 代理人
主权项
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