发明名称 |
PRODUCTION OF SILICON CRYSTAL MEMBRANE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS533903(A) |
申请公布日期 |
1978.01.14 |
申请号 |
JP19760077032 |
申请日期 |
1976.07.01 |
申请人 |
KOGYO GIJUTSUIN |
发明人 |
ITOU HARUO;SAITOU TADASHI;KETSUSAKO MITSUNORI;NAKAMURA NOBUO |
分类号 |
C30B13/06;C30B13/34;C30B29/06 |
主分类号 |
C30B13/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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